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氣動隔膜泵空間的容積增大

因為氣動隔膜泵的空間體積是逐漸增大，氣體壓力下降，而氣動隔膜泵的入口處的外部氣體壓力比A空間的壓力大，所以吸入氣體。當A空間與B空間的吸氣口隔離時，即轉到B空間的位置，氣體開始被壓縮，體積逐漸減小，最后與排氣管相通。

旋片式氣動隔膜泵是真空技術中的一種基本真空獲取裝置，旋片泵多用于中小型，旋片泵分為單級和雙級，所謂雙層泵，就是把兩個單層泵串聯在一起的結構。通常多制成兩個等級，以獲得較高的真空度，在1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）的進口壓力下，規定旋片泵的抽速與進口壓強的關系如下：在進口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）時，泵的抽速值分別不低于95%、50%和20%。

旋片泵主要由泵體，轉子，旋片，端蓋，彈簧等組成，將轉子安裝在旋片泵的腔體內，轉子外圓與泵腔內表面相切（兩者之間有很小的間隙），轉子槽內裝有帶有彈簧的兩個旋片。轉動時，依靠離心力和彈簧的張力，使旋片頂部與泵腔內壁保持接觸，轉子的旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動，雙旋片將轉子、泵腔和兩端蓋所圍成的月牙形空間分成A、B、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的A空間的容積逐漸增大，處于吸氣過程中和排氣孔相通的空間C的體積在逐漸減小，處于排氣過程中，位于中心的B空間體積也在逐漸減少，氣動隔膜泵處于壓縮過程中。